[미리보는 LED & OLED EXPO 2017] 인피테크, UV LED 광원 적용한 주변노광장치 소개 예정

박지완 2017-06-19  
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인피테크(대표 홍진표)는 오는 6월 27일(화)부터 29일(목)까지 일산 킨텍스(KINTEX) 1전시장 3,4 Hall에서 열리는 '제 15회 국제 LED & OLED EXPO 2017'에 참가해 UV LED 디스플레이 글라스·웨이퍼 주변노광장치, UV LED 경화기 등을 선보인다.

'UV LED 주변노광장치'(UV LED Edge Exposure Unit: EEU, 이하 주변노광장치)는 반도체 혹은 디스플레이 제조 공정 중 Photo 공정에 사용되는 장비에 장착되는 모듈이다. 기판의 끝부분을 노광(빛을 조사하여 포토레지스트를 박리)하는 기능을 한다. 해당 공정을 통해 파티클의 발생을 억제하여 생산라인에서 수율을 높이는 등 생산성 향상 효과를 볼 수 있다.

기존의 주변노광장치는 UV램프(수은램프)의 광원을 사용하여 환경적인 문제와 함께 소비전력이 높아 생산성, 유지비용 문제 등 다양한 문제점이 제기되어 왔다. 이에 인피테크는 해당 기술을 UV LED 광원을 응용한 주변노광장치를 세계최초로 개발하며 대기업 양산라인 적용에도 성공하였다.

인피테크의 주변노광장치는 소비전력 12W, 광출력 5,000mW/㎠(반도체 주변노광장치 기준)로 기존 수은 램프(소비전력 230W, 광출력 1,500mW/㎠)와 비교하여 월등한 사양을 가지고 있다. 또한 LCD디스플레이가 적용된 컨트롤러가 함께 세트로 구성되어 PC와 연동이 가능하고 설비의 실시간 모니터링이 가능하다.

또한 'UV경화 모듈'은 UV LED 광원을 사용하여 액체상태의 시료(레진 등)를 딱딱하게 굳히는 장치로 OLED나 스마트폰 제조공정에서 봉지·접착, 코팅, 인쇄 등 다양한 공정에서 사용되고 있다. 해당 장치 역시 컨트롤러가 세트로 구성되어 설비 모니터링이 가능하며 고객사의 요구 사항에 맞게 커스터마이징을 통한 최적의 광원을 제공 가능하다는 장점으로 국내외 장비 업체들에게 긍정적인 반응을 얻고 있다. 현재 대부분의 제조기업에서는 수은램프를 이용한 경화기를 이용하고 있지만 유지비용 절감, 정부의 에너지 정책 등으로 인해 UV LED가 주목을 받으면서 인피테크의 UV LED 광 응용 사업 또한 각광 받고 있다.

한편, 국제 LED & OLED EXPO 2017은 국내외 350여 업체가 참여하는 국내 최대규모의 LED, OLED 전문 무역전시회다. 아울러 전시기간 동안 '레이저 엑스포 2017' 및 LED산업의 최고 권위자들을 초청해 LED산업의 현황 및 발전방향을 모색하는 'LED산업포럼 2017'도 동시 개최된다.

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