[LED & OLED EXPO 2017] 인피테크, UV LED 광원 적용한 주변노광장치 선봬

유은정 2017-06-30  
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인피테크(대표 홍진표)는 6월 27일(화)부터 29일(목)까지 일산 킨텍스(KINTEX) 1전시장 3,4 Hall에서 열리는 '제 15회 국제 LED & OLED EXPO 2017'에 참가해 UV LED 디스플레이 글라스·웨이퍼 주변노광장치, UV LED 경화기 등을 선보였다.

'UV LED 주변노광장치'(UV LED Edge Exposure Unit: EEU, 이하 주변노광장치)는 반도체 혹은 디스플레이 제조 공정 중 Photo 공정에 사용되는 장비에 장착되는 모듈이다. 기판의 끝부분을 노광(빛을 조사하여 포토레지스트를 박리)하는 기능을 한다. 해당 공정을 통해 파티클의 발생을 억제하여 생산라인에서 수율을 높이는 등 생산성 향상 효과를 볼 수 있다.

기존의 주변노광장치는 UV램프(수은램프)의 광원을 사용하여 환경적인 문제와 함께 소비전력이 높아 생산성, 유지비용 문제 등 다양한 문제점이 제기되어 왔다. 이에 인피테크는 해당 기술을 UV LED 광원을 응용한 주변노광장치를 세계최초로 개발하며 대기업 양산라인 적용에도 성공하였다.

한편, 국제 LED & OLED EXPO 2017은 국내외 350여 업체가 참여하는 국내 최대규모의 LED, OLED 전문 무역전시회다. 아울러 전시기간 동안 '레이저 엑스포 2017' 및 LED산업의 최고 권위자들을 초청해 LED산업의 현황 및 발전방향을 모색하는 'LED산업포럼 2017'도 동시 개최된다.

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