나노엑스, 2021 국제 광융합 엑스포서 마이크로 LED 측정용 초고속 프로브 카드 알린다

최예원 2021-09-23  
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제공-나노엑스

㈜나노엑스(대표 박영성)는 오는 10월 13일(수)부터 15일(금)까지 3일간 일산 킨텍스(KINTEX) 제1전시장에서 열리는 '2021 국제 광융합 엑스포'에 참가한다.

현재 차세대 디스플레이 기술로 주목받고 있는 마이크로 LED는 칩의 크기와 칩 간 피치(pitch)가 50㎛ 이하로 매우 작고 기판당 측정할 칩의 수량이 너무 많아(통상 450만 개/Wafer), 기존의 프로브 카드 기술로는 직접 컨택트(Contact) 측정이 불가능하다. 이 때문에 측정 신뢰도가 낮은 비접촉 방식의 개발이 주를 이루고 있다.

이에 나노엑스는 자체 개발한 '자기탄성 프로브 기술(iEPt: integrated Elastic Probe Technology)'을 적용한 마이크로 LED용 직접 컨택트(Contact) 방식의 멀티(Multi) 프로브 카드를 이번 전시회에 출품하게 됐다고 밝혔다.

마이크로 LED 프로브 카드│사진 제공-나노엑스

나노엑스의 iEPt 프로브 카드는 직접 컨택트(Contact) 방식으로 전기적 특성 검사의 측정 신뢰성이 높고, 기존 방식의 프로브 카드 대비 측정 속도가 수백 배까지 빠를 뿐 아니라, 독자 개발한 자기탄성 프로브 기술로 제작한 프로브 핀(Pin)은 개별로 탄성을 갖추고 있다. 칩 제조 중 발생하는 측정 칩의 높이(평탄도) 차이를 극복할 수 있어 칩 측정 중 발생 가능한 칩의 손상(Damage)을 없앨 수 있다.

현재, 마이크로 LED 디스플레이의 경우 다수의 칩을 정확하고 빠르게 측정 가능한 기술이 없어 패널에 칩을 부착 후 불량 칩을 선별 수리하는 방식으로 제조 과정이 이뤄지고 있으며 이는 곧 수율 하락과 제조 비용 상승의 원인이 되고 있다.

나노엑스 관계자는 "자사 'iEPt' 마이크로 LED 프로브 카드가, 마이크로 LED 디스플레이 제조 기술의 어려움을 해결하고, 수율 향상 및 시장 확대에 기여할 것으로 기대하고 있다."라고 전했다.

한편, 산업통상자원부, (사)LED산업포럼, KOTRA가 주최하고 동반성장위원회가 주관하는 '2021 국제 광융합 엑스포'는 제19회 국제 LED&OLED EXPO와 PHOTONICS+LASER EXPO가 통합돼 진행된다. 주요 전시 품목은 다음과 같다. △LED △OLED △DISPLAY △바이오 LED △전장 △광통신

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