[세미콘코리아 2013 영상] Axcelis, Medium Current Ion Implanter 'Purion M'

권세창 2013-01-31  
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엑셀리스 테크놀로지(Axcelis Technologies)는 1월 30일부터 2월 1일까지 서울 코엑스에서 진행되는 국내 최대 규모의 반도체재료장비전시회 'SEMICON Korea 2013′에 참가해 Medium Current Ion Implanter 'Purion M'을 선보였다.

Medium Current Ion Implanter 'Purion M'은 다양한 중전류 주입에 있어 높은 생산성과 에너지 순도를 제공하는 것이 특징이다.

또한 정확한 각도 제어, 특허 에너지 필터, 기기 성능변형을 최소화하는 초점거리 탐색 기능으로 최고의 수율을 얻을 수 있다는 게 관계자의 설명이다

한편, 국제반도체장비재료협회(SEMI, www.semi.org)가 주최하는 SEMICON Korea 2013은 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회로, 올해는 'LED Korea 2013′과 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 전망이다.

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