원익아이피에스, IMID 2021서 독자기술 내장해 파티클 오염 최소화한 'Dry Etcher' 선보인다

최예원 2021-08-11  
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DE│사진 제공-원익아이피에스

원익아이피에스(대표 이현덕)는 오는 8월 25일(수)부터 27일(금)까지 3일간 서울 코엑스(COEX) C홀에서 열리는 'IMID 2021(한국디스플레이산업전시회)'에 참가한다.

1991년 설립된 원익아이피에스는 반도체 전(前)공정 핵심장비와 LCD, OLED 디스플레이 장비(PECVD, Dry Etcher, Laser, Furnace) 등을 제조, 판매하는 종합 장비 회사이다.

Dry Etcher는 TFT 기반 panel 제조에 필요한 핵심 장비로, 최근 급성장 중인 foldable AMOLED 및 대형 LCD 공정에 적용된다. 원익아이피에스 독자기술인 faraday heater를 내장해 particle 오염을 최소화하고 추가적인 균일도 보정, density 향상을 얻을 수 있다. 원익아이피에스 관계자는 "당사는 첨단 소자 개발을 위한 R&D 2세대부터 75인치 이상 LCD 양산을 위한 8세대, 10세대에 이르기까지 모든 범위의 공정 기술을 확보하고 있다."고 말했다.

PECVD│사진 제공-원익아이피에스

PECVD는 TFT, TFE, TSP 공정의 핵심 장비로 범용적으로 사용되지만 양산 기술 확보가 아주 중요한 요인이다. 원익아이피에스는 TFE 공정 양산성을 확보했으며 그 기술 범위를 TSP, TFT로 확장하고 있다. bias susceptor 도입으로 박막 밀도 및 수소 함유량 조절이 가능하며, 절연 특성을 개선하여 차세대 OLED 공정에 대응하고 있다.

무진동 aligner, 다초점 가변 광학 렌즈로 구성된 고정밀 Mask Aligner가 탑재되어 있어, 원하는 영역에만 증착이 가능하다. Smart cleaning 기능 도입으로 PM 주기를 개선하여 운영 비용 절감에 유리한 장점이 있다.

한편, 한국디스플레이산업협회가 주관하고 한국정보디스플레이학회가 후원하는 IMID 2021의 주요 전시품목은 다음과 같다. △OLED, LCD, Wearable, Flexible, Touch, Automotive, Micro Display △디스플레이 관련 장비 및 설비-생산장비, 검사장비, 측정장비, 수리장비, 계측기기, 클린룸 설비 등 △디스플레이 관련 재료 및 부품-Glass, Color Filter, BLU, 편광필름, Drive IC, OLED 재료, ITO 타겟 등

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