[그린에너지엑스포 현장] 세미머티리얼즈, 지멘스 방식 CVD 리액터 'SM-MS24' 소개

배신수 2011-04-07  
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DAEGU, Korea (AVING Special Report on 'International Green Energy Expo Korea 2011') -- <Visual News> 세미머티리얼즈(www.semimaterials.com)가 4월 6일부터 8일까지 대구 엑스코(EXCO)에서 열리는 '제 8회 국제그린에너지엑스포'에 참가해 CVD 리액터 'SM-MS24'를 선보였다.

CVD 리액터 SM-MS24는 모노실란가스를 사용해 폴리실리콘을 생산하는 지멘스 방식 CVD 리액터로 노르웨이의 REC와 이 회사만이 장비 양산에 성공했다.

이 장비는 TCS가스를 원재료로 해서 폴리실리콘을 생산하는 CVD 리액터에 비해 폴리실리콘 제조비용이 절감되는 효과가 있다.

세미머티리얼즈는 장비 생산뿐만 아니라, 장비를 활용한 프로세스를 제공하고, CVD 리액터를 공장 내에 Pilot Line을 설치해 직접 폴리실리콘을 생산함으로써 고객이 직접 볼 수 있게 하고 있다.

한편, 2000년 5월 설립된 세미머티리얼즈는 태양광 관련 소재, 부품 및 장비의 기술 개발에 주력하고 있으며, 주요제품은 CVD 리액터 외에 단결정 실리콘 잉곳 & 웨이퍼, 그로어(Grower) 등이 있다.

Global News Network 'AVING'

 

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