[iMAC 2011] 한국생산기술연구원, 샤워헤드 장비 'MOCVD' 소개

김민영 2011-05-29  
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한국생산기술연구원(www.kitech.re.kr)은 5월 25일(수)부터 28일(토)까지 킨텍스에서 열린 '2011 국제부품소재산업전(iMAC 2011)'에 참가해 샤워헤드를 소개했다.

샤워헤드는 모듈이 순차적으로 쌓여서 구성되며, 분사속도 또한 외적으로 조절돼 확산도 범위가 다양하다. 특히 기체가 뿜어져나와 샤워헤드 바닥면이 오염될 가능성이 적다는게 특징이다.

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