[미리보는 SEMICON KOREA] 라이카코리아, 반도체 검사용 현미경 선보인다

송민경 2012-01-25  
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라이카코리아(대표 박철세, www.leica-microsystems.co.kr)는 2월 7일부터 9일까지 3일간 서울 코엑스에서 열리는 'SEMICON KOREA 2012'에 참가해 반도체 검사용 현미경 시스템을 선보인다.

(사진설명: 반도체 검사용 현미경 Leica 'DM8000M', 'DM12000M')

Leica DM 시리즈 중 최고 성능을 보유한 'DM8000M'과 'DM12000M'은 최첨단 광학기능으로 웨이퍼 검사 시 해상력이 향상돼 샘플 처리량(Throughput)을 늘려주고, OUV를 통해 어느 각도에서든 최적의 해상도로 관찰할 수 있도록 한다.

매크로 배율이 일반 대물렌즈 시야의 4배까지 확대되고, LED 조명의 탑재와 인체공학적 설계로 사용자가 직관적으로 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 장시간 작업 시에도 피로감을 줄여준다.

(사진설명: 듀얼코어 3D측정 현미경 Leica 'DCM 3D')

Leica 'DCM 3D'는 라이카에서 최초로 공초점 및 간섭측정(Interferometry) 기술을 결합한 듀얼코어 3D측정 현미경으로, 기술적 분석이 요구되는 표면의 마이크로 및 나노 구조를 비침투(Non-Invasive)·비파괴 방식을 이용해 여러 구성환경에서 관찰 및 분석하도록 설계됐다.

빠른 3D 구현 및 최대 0.1㎚의 고해상도 측정이 가능하며, 특히 Micro Display Confocal 기술로 기계적 조정 없이 다양한 물질을 측정해 공초점 이미지 및 명시야 이미지를 한 번에 제공한다.

라이카코리아는 세계적인 광학장비 시스템 생산업체 독일 라이카 마이크로시스템즈의 한국법인으로 의료, 생명공학 및 일반산업 분야에서 활용되는 미세 조직을 관찰, 측정 및 분석하는 혁신적인 이미징시스템을 개발 및 생산하고 있다.

라이카코리아의 산업시스템부는 국내 재료과학 및 품질관리, 법의학적 감식과 교육 응용분야에 디지털현미경부터 입체현미경, 메크로스코프, 현미경카메라, 광학현미경, 현미경 소프트웨어(LAS)에 이르기까지 광학기술 기반의 관찰, 측정, 분석관련 장비를 공급하고 있다.

SEMICON KOREA 2012는 국내 최대 규모의 반도체재료장비업계의 행사로, 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회이다. 올해는 'LED KOREA'가 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 것이다.

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