[미리보는 SEMICON Korea] 파크시스템스, 최상의 노이즈 감소 실현한 원자현미경 전시

송민경 2012-02-07  
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파크시스템스(대표 박상일, www.parkAFM.com)는 2월 7일부터 9일까지 서울 코엑스에서 열리는 'SEMICON Korea 2012'에 참가해 비접촉 원자현미경 'NX10'을 선보인다.

'NX10'은 Z서보 스피드를 통해 높은 정확성과 빠른 스캔속도를 구현하며, XYZ 클로우즈드 루프 스캐닝으로 최상의 노이즈 감소를 실현했다.

특히 Z 스캐너를 실시간 구동해 모니터링함으로써 고속 스캐닝을 진행하는 동안 피에조 크립 또는 에지 오버슛의 문제없이 정확한 샘플 토포그라피를 기록한다.

파크시스템스 유영국 상무이사는 "NX10은 최상의 노이즈 감소, 클로우즈드 루프 기술로 이전에는 도달할 수 없었던 원자현미경 측정결과의 정확성을 얻었다"며, "이 제품으로 차세대 연구자들은 정확한 나노계측 결과를 얻을 수 있는 원자현미경을 경제적으로 구비할 수 있다"고 밝혔다.

파크시스템스는 AFM시스템, 옵션 및 소프트웨어를 포함해 가능한 최대 범위의 AFM솔루션을 제공하는 나도계측사업 선도기업이다. 이 회사는 나노계측의 발전이 향후의 연구, 분석, 프로세싱, 제품생산을 가능하게 하는 열쇠라는 생각으로 혁신적인 기술과 제품을 생산하고 있다.

SEMICON KOREA 2012는 국내 최대 규모의 반도체재료장비업계의 행사로, 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회이다. 올해는 'LED Korea'가 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 것이다.

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