[SEMICON Korea 2012] 어플라이드머티어리얼즈, 반도체/평판 디스플레이/태양전지 제조기술 선보여

송민경 2012-02-08  
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어플라이드머티어리얼즈(www.appliedmaterials.com)는 2월 7일부터 9일까지 서울 코엑스에서 열리는 국내 최대 규모의 반도체재료장비전시회 'SEMICON Korea 2012'에 참가해 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등의 제조를 위한 혁신적인 장비, 서비스 및 소프트웨어를 소개했다.

어플라이드 밴티지 벌컨(Applied Vantage Vulcan)은 최첨단 나노 규모의 트랜지스터 제조 공정을 위한 급속 열 처리 장비로, 웨이퍼의 온도변화를 역동적으로 제어해 수율 향상 및 고품질의 웨이퍼 제조가 가능하다.

어플라이드 센추라 테트라 EUV(Applied Centura Tetra EUV)는 최첨단 포토마스크 식각 기술을 적용해 새로운 소재 및 복잡한 레이어 구조상에서의 식각을 가능하게 하는 한편, 패턴의 정확도를 높여 극 자외선 리소그래피 공정에서 발생할 수 있는 결함을 최소화시켰다.

어플라이드머티어리얼즈(Applied Materials)는 67년 설립 이래 반도체 칩과 평판 디스플레이를 생산하는데 필요한 나노 제조기술을 개발하고 상용화하는데 주력하고 있으며, 현재는 풍부한 태양열을 청정 전기로 바꾸는 태양전지 패널 개발에 전문성을 갖추고 있다.

SEMICON Korea 2012는 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회로, 올해는 'LED Korea'가 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 것이다.

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