[SEMICON Korea 2012] 에드워드 코리아, 차세대 드라이 진공펌프 시리즈 전시

송민경 2012-02-08  
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에드워드 코리아(대표 이성민, www.edwardsvacuum.com)는 2월 7일부터 9일까지 서울 코엑스에서 열리는 국내 최대 규모의 반도체재료장비전시회 'SEMICON Korea 2012'에 참가해 반도체, 디스플레이, LED 및 태양전지 제조 장비용 차세대 드라이 진공펌프를 선보였다.

iXH/iXL/iGX/GXS 시리즈는 반도체, FPD, Solar 및 LED 등 산업 전반에 사용되는 드라이 펌프로, 에드워드는 반도체에 적용되는 작은 웨이퍼부터 디스플레이에 적용되는 글래스까지 전 사양을 아우르는 제품군을 보유, 국내 디스플레이 시장의 60% 이상을 차지하며 시장경쟁력을 갖췄다.

이 시리즈의 장비는 소형화와 경량화를 실현하며, 설치공간을 최소화 해 작업환경 개선에 기여했고, 저소음/저전력/저진동 기술로 작업의 안정성 및 높은 효율성을 실현시켰다. 또한 우수한 Powder 및 수소 처리 능력을 갖췄으며, 높은 Throughput으로 TACT-TIME을 최소화했다.

이외에도 기존 일체형 STP-iXA 시리즈 제품에서 제어부 및 AC/DC 전원부를 일체형으로 모듈화해 초소형화를 실현한 최첨단 일체형 터보 분자 펌프 'STP-iXA Series'는 케이블을 제거해 컨트롤러 설치 공간을 최소화했고, 자가진단 및 공정기록 저장기능을 강화했다.

영국에 본사를 둔 에드워드 코리아는 2011년 생산공장을 천안으로 이전, 차세대 드라이 진공펌프를 국산화하는데 주력하고 있다. 또한 에너지 절약과 친환경 제품 공급을 통해 저탄소 녹색성장을 지향하며, 신공장 생산 규모에 따른 매출 상승과 고용 창출 효과를 얻고 있다.

SEMICON Korea 2012는 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회로, 올해는 'LED Korea'가 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 것이다.

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