[SEMICON Korea 2012] 호리바에스텍코리아, 멀티솔루션 바탕의 Mass Flow Controller 전시

송민경 2012-02-09  
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호리바에스텍코리아(www.horiba.com)는 2월 7일부터 9일까지 서울 코엑스에서 열리는 국내 최대 규모의 반도체재료장비전시회 'SEMICON Korea 2012'에 참가해 멀티 솔루션을 바탕으로 한 Mass Flow Controller를 선보였다.

'SEC-Z500X'는 다양한 종류의 가스를 각각의 데이터로 지정, 하나의 소프트웨어를 통해 제어할 수 있는 솔루션으로, 다이얼 방식으로 압력을 조절해 정확한 양을 제어할 수 있으며, 기존 일대일 대응 방식을 탈피해 경제성을 높였다.

'SEC-Z700X'는 Pressure Insensitive 타입의 Mass Flow Module로, 다양한 가스를 제어할 수 있는 기술 이외에도 자가진단기능을 갖춰 제품의 안정성과 신뢰성을 높였으며, 이외에도 유저인터페이스의 디스플레이로 작업자의 편의성을 향상시켰다.

SEMICON Korea 2012는 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회로, 올해는 'LED Korea'가 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 것이다.

'SEMICON Korea 2012' 특별페이지 바로가기

(사진설명: 'SEC-Z700X')

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