[SEMICON Korea 2012] 파카하니핀코리아, 여과처리기능 향상된 반도체용 필터 제품군 전시

송민경 2012-02-09  
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파카하니핀코리아(www.parker.com)는 2월 7일부터 9일까지 서울 코엑스에서 열리는 국내 최대 규모의 반도체재료장비전시회 'SEMICON Korea 2012'에 참가해 반도체 및 FPD장비의 토털 솔루션을 선보였다.

(사진설명: 반도체용 필터 제품군)

반도체용 필터 제품군은 웨이퍼 공정, FPD 공정, 케미컬 공정에서 사용되는 용액을 보다 위생적으로 하고, 생산량을 향상시키기 위해 최적의 필터 구성, 카트리지의 여과면적을 기존 제품에 비해 80% 증가시켜 여과처리기능을 2배 향상시켰고, 무기물 토출량을 5ppd 미만으로 관리함으로써 제품의 신뢰성을 높였다.

또한 3.25inch 지름의 카트리지를 사용해 여과면적을 넓히고, 비대칭적인 PTFE 멤브레인을 카트리지에 적용해 기존 멤브레인 대비 더 낮은 압력에서도 3배 가까운 유량과 약액을 여과시킴으로써 생산량 향상에 기여했다.

파카하니핀코리아는 반도체 및 LCD 공정의 모션 컨트롤을 위한 최적의 솔루션을 제공하기 위해 진공용 리니어 모터를 도입하고 국내 생산공장을 설립, 기술을 이전해 국내 생산력을 높이며, 소비자의 단납기 요구에 빠르게 대응할 수 있도록 했다.

'I-Force Ironless Motor'의 경우 Continuous Force와 Peak Force의 최적의 대비로 단위체적당 출력율을 향상시켰다. 또한 'Ironless Linear Motor'는 진공 10^-7 Torr까지 대응이 가능하며, 드라이버 컨트롤을 접목시켜 업체의 요구에 대응하는 콤팩트한 솔루션을 제공한다.

SEMICON Korea 2012는 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회로, 올해는 'LED Korea'가 동시 개최돼 첨단산업의 기저인 반도체와 LED 기술을 한 자리에서 볼 수 있는 자리가 될 것이다.

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