[세미콘코리아 2014] 히타치 하이테크놀로지즈 코리아, 새로운 실리콘 식각장비 전시

유나영 2014-02-13  
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히타치 하이테크놀로지즈 코리아(www.hitachi-hitec.com/kr)는 12일부터 14일까지 서울 코엑스에서 열리는 '세미콘코리아 2014(SEMICON Korea)'에 참가해 실리콘 식각 시스템(Silicon Etch System)을 선보였다.

(사진설명: 이용식 상무)

'M-8170XT', 'M-8190XT' 모델은 새로운 300mm 마이크로웨이브 플라즈마 식각 시스템으로, 실리콘과 하드 마스크(Hard Mask) 식각 공정에 활용되는 장비이다.

히타치 하이테크놀로지즈 코리아는 이외에도 연구개발용 반도체 측정 장비 'CD-SEM'의 새로운 모델인 'CG5000'(22nm~1Xnm)과 웨이퍼 표면 검사 시스템인 'LS 시리즈'를 함께 소개했다.

이영식 이사는 "세미콘코리아는 18년 연속 참가하고 있으며, 올해는 신사업 창출과 함께 업계 및 사회에서 신뢰받는 글로벌 TOP기업으로써의 면모를 갖추기 위해 더욱 노력하겠다"고 전했다.

올해로 27회째를 맞이하는 국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 이번 '세미콘코리아(www.semiconkorea.org/ko) 2014'는 세계 20개국 530개사, 1737 부스가 참가해 마이크로 전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술과 장비, 재료 등을 선보이고, 반도체 산업의 현황과 전망을 제시하며, 더불어 국내 유일의 LED 제조기술 전문 전시회인 'LED코리아 2014'가 동시 개최된다.

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