[세미콘코리아 2014] FEI, 분석실 자동화 솔루션 소개

유나영 2014-02-13  
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에프이아이코리아(www.fei.com)는 12일부터 14일까지 서울 코엑스에서 열리는 '세미콘코리아 2014(SEMICON Korea)'에 참가해 2014년 주력제품인 이온집속장치 'ExSolve'와 투과전자현미경 'Metrios'를 소개했다.

'ExSolve'는 반도체 웨이퍼 공정 내에서 고객이 원하는 사이즈(두께)의 샘플을 빠른 시간 내에 얻을 수 있는 이온집속장치로, 'Metrios'와 함께 반도체 공정 내 불량 분석에 있어 자동화를 가능하게 하는 장비이다. 두 제품은 분석실의 자동화에 따른 시간 절약, 생산성 향상, 비용 절감 효과를 제공한다.

기업 관계자는 "올해 주력 제품인 'ExSolve'와 'Metrios'는 현재 반도체 공정에 있어 분석실의 메뉴얼 작업의 한계성을 극복한 제품으로, 많은 데모 시연을 통해 긍정적인 평가를 얻은 바 있다. 이를 통해 상반기에 납품과 더불어 실제 운용까지 진행될 것으로 기대하고 있다"고 전했다.

올해로 27회째를 맞이하는 국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 이번 '세미콘코리아(www.semiconkorea.org/ko) 2014'는 세계 20개국 530개사, 1737 부스가 참가해 마이크로 전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술과 장비, 재료 등을 선보이고, 반도체 산업의 현황과 전망을 제시하며, 더불어 국내 유일의 LED 제조기술 전문 전시회인 'LED코리아 2014'가 동시 개최된다.

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