[세미콘코리아 2014] 이노레스, 파티클 현상 최소화 'CoreRes® EL-270' 소개

유나영 2014-02-15  
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이노레스(대표 백종평, www.innores.co.kr)는 12일부터 14일까지 서울 코엑스에서 열린 '세미콘코리아 2014(SEMICON Korea)'에 참가해 'CoreRes® EL-270'을 선보였다.

과불화 탄성 중합체 'CoreRes® EL-270'는 이노레스의 주력 제품으로, 반도체 제조 공정에 있어 중요한 파티클 현상을 최소화했으며 높은 안정성과 320도까지 지속적인 사용과 함께 HDPCVD, PECVD, SACVD, 식각(Etching), 애싱(Ashing)에서 뛰어난 성능을 발휘한다.

기업 관계자는 "자사의 강점은 아노다이징(Anodizing) 시스템을 갖추고 있어 철저한 품질관리가 가능한 점이라고 생각한다. 올해는 기존의 해외 시장(중국, 일본, 미국)과 더불어 새로운 유럽 시장 공략과 함께 새로운 재질 개발을 계획 중에 있다"고 전했다.

올해로 27회째를 맞이하는 국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 이번 '세미콘코리아 2014'(www.semiconkorea.org/ko)는 세계 20개국 530개사, 1737 부스가 참가해 마이크로 전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술과 장비, 재료 등을 선보이고, 반도체 산업의 현황과 전망을 제시하며, 더불어 국내 유일의 LED 제조기술 전문 전시회인 'LED코리아 2014'가 동시 개최됐다.

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