[세미콘코리아 2014] 인테그리스코리아, 웨이퍼 보관·운송 용기 '300mm Spectra™ FOUP' 전시

유나영 2014-02-16  
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인테그리스 코리아(www.entegris.com)는 12일부터 14일까지 서울 코엑스에서 열린 '세미콘코리아 2014(SEMICON Korea)'에 참가해 웨이퍼 보관 및 운송 용기 신제품 '300mm Spectra™ FOUP'을 선보였다.

(사진설명: 300mm Spectra™ FOUP)

이 제품은 스노클(Snorkel) 및 EBM 기술이 적용된 제품으로, 용기 안쪽에 가스(Na)를 퍼지(purge)함으로써 반도 제조 설비 내에 웨이퍼 가스 방출(Outgassing) 개선을 통해 수율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

인테그리스 코리아는 1966년에 설립된 각종 반도체 제조 장비 및 설비와 다양한 종류의 소자 개발 및 양산에 있어 필수적인 오염제어 솔루션을 제공하고 있으며, 리퀴드 케미컬(Liquid Chemical) 및 가스, 공기, Fab, 웨이퍼 및 플루이드(Fluid) 핸들링 분야에서 다각적인 오염제어 기술의 연구 및 개발에 끊임없이 노력하고 있다.

올해로 27회째를 맞이한 국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 이번 '세미콘코리아 2014'(www.semiconkorea.org/ko)는 세계 20개국 530개사, 1737 부스가 참가해 마이크로 전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술과 장비, 재료 등을 선보이고, 반도체 산업의 현황과 전망을 제시하며, 더불어 국내 유일의 LED 제조기술 전문 전시회인 'LED코리아 2014'가 동시 개최됐다.

→ '세미콘코리아 2014' 뉴스 특별페이지 바로가기

(사진설명: 450mm MAC)

(사진설명: Torrento® 10nm 일회용 액체 필터, Wet 식각 및 클린 공정에 활용되는 10 나노(nm)급 필터)

 

 

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