[세미콘코리아 2014 영상] 엑셀리스, 3D기기 제작 플랫폼 'Purion™' 최초 공개

권세창 2014-02-20  
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액셀리스 테크롤로지(www.axcelis.com)는 12일부터 14일까지 서울 코엑스에서 열린 '세미콘코리아 2014(SEMICON Korea)'에 참가해 3D 기기 제작 플랫폼 'Purion™ 플랫폼'을 최초로 선보였다.

이 플랫폼은 고급형 3D 기기를 위해 디자인된 제품으로 각각 중전류 주입기 Purion M™, 고전류 주입기 Purion H™, 고에너지 주입기 Purion XE™가 하나의 플랫폼으로 작동된다.

액셀리스는 미국 매사추세츠 베벌리에 본사를 두고 있는 기업으로, 반도체 업계에서 35년 이상 혁신적인 고품질 솔루션을 제공해오고 있으며, IC 제작 공정에서 이온 주입 시스템의 디자인, 생산 및 제품 수명 주기 지원을 통해 응용 프로세스 발전에 공헌하고 있다.

액셀리스 관계자는 "세미콘 코리아에 참여해 당사의 혁신적인 신제품인 Purion 플랫폼을 시연하게 돼 매우 기쁘다"며, "모바일 시대의 혁신을 이끌어 나가고 있는 한국은 반도체 제작에 있어 중요한 지역으로 16nm 3D 기기를 통한 대체 제작 역할을 선도할 것이다"고 전했다.

올해로 27회째를 맞이한 국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 이번 '세미콘코리아(www.semiconkorea.org/ko) 2014'는 세계 20개국 530개사, 1737 부스가 참가해 마이크로 전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술과 장비, 재료 등을 선보였고, 반도체 산업의 현황과 전망을 제시했다. 더불어 국내 유일의 LED 제조기술 전문 전시회인 'LED코리아 2014'가 동시 개최됐다.

→ '세미콘코리아 2014' 뉴스 특별페이지 바로가기


(사진설명: Patrick Heres, Product Line Manager)

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