넥센서는 3월 17일(목)부터 19일(토)까지 서울 코엑스에서 열린 'InterBattery 2022'에 참가해 광학식 3D 측정센서를 선보였다.

넥센서는 스마트 팩토리의 제품 생산 및 품질공정에 필요한 측정 센서와 솔루션을 제공한다. 회사 관계자는 "전문 개발진이 제작한 신뢰성 있는 센서가 제품 품질과 공정 효율성을 향상시키고, 생산된 스마트 제품의 편의성을 소비자가 누리는 순환은 넥센서 기술 개발의 가장 큰 원동력"이라고 소개했다.

이번 전시회에 전시한 자유곡면 측정 시스템 nXF-3는 'Deflectometry' 기술을 적용해 웨이퍼나 필름같이 반사율이 높거나 투명한 제품의 휨(Warp & Bow)이 측정 가능한 제품이다. 단순히 제품의 표면 형상뿐만 아니라 정량적이고 정확한 측정값을 제공해 공정의 안정화 및 효율성을 높여 준다. 또한 다양한 경면재질의 표면 형상 측정 및 검사도 가능해 필름 표면, 이차전지 파우치, 수소전지 박판, 자동차 도장 등의 휨, 찍힘 등을 높은 신뢰성으로 측정한다.

함께 선보인 현미경 간섭계 센서는 초정밀, 초고속 3D 다중 막 구조를 측정한다. 정밀 측정장비의 검교정에 사용되는 기술인 간섭 측정법(Interferometry)이 적용된 nXI-5는 작은 영역에 대해서 정밀한 측정이 가능한 제품으로 신뢰성 있는 데이터를 제공해 공정의 효율을 올려준다. 또한 기존보다 훨씬 빠른 측정 속도로 양산 라인에 적용하기 매우 편리하며 수준 높은 측정기술이 결과에 대한 높은 신뢰성을 제공한다.

단차, 두께, 조도 측정이 가능해 반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면구조, 이물질로 인한 돌기 측정 등 ㎛ 이하의 측정에 활용되고 있다. 또한 박막분리가 가능하도록 개발돼 다층구조를 가진 제품의 측정에 탁월한 성능을 보이고 있다는 게 관계자의 설명이다.

한편, 산업통상자원부가 주최하고 한국전지산업협회와 코엑스가 주관한 InterBattery는 급성장한 모바일 소형시장에서부터 에너지산업, 자동차산업 및 ESS·EV 중대형시장까지 아우르는 이차전지산업 전문 전시회이다. 또한, 국제 콘퍼런스인 'The Battery Conference'의 동시 개최로, 기술 교류 및 트렌드 파악의 장을 마련했다.

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